Каковы общие металлы, используемые в распылении мишени и почему?

Напыление-это процесс, при котором атомы выбрасываются с поверхности твердого материала, а затем осаждаются на другую поверхность в виде тонкой пленки. Этот процесс широко используется в полупроводниковой и электронной промышленности для производства интегральных схем и других электронных компонентов. Напыляемые мишени являются ключевыми компонентами этого производственного процесса, поскольку они являются источником атомов, которые образуют тонкую пленку. Существует несколько типов металлов, используемых в мишенях для распыления, и каждый из них обладает уникальными свойствами, которые делают их пригодными для различных применений. В этой статье будут рассмотрены наиболее распространенные металлы, используемые в мишенях для распыления, и их свойства.

Молибден Целевая

Молибден является популярным материалом для распыления мишеней из-за его высокой температуры плавления, отличной проводимости и низкого коэффициента теплового расширения. Молибденовые мишени обычно используются в производстве тонких пленок для микроэлектроники и поверхностных покрытий для машин и инструментов.

Молибденовый сплав Целевая

Молибденовые сплавы, такие как молибден-вольфрам, молибден-рений и молибден-титан, также используются в мишенях для распыления. Эти сплавы имеют улучшенные свойства, такие как высокая твердость, ударная вязкость, улучшенные скорости распыления и свойства осаждения по сравнению с целями из чистого молибдена.

Титан Цель

Титановые мишени для распыления подходят для производства различных тонких пленок, таких как декоративные покрытия и биосовместимые покрытия. Коррозионная стойкость титана и сильные свойства склеивания делают его идеальным для использования в медицинских и зубных имплантатах.

Титан-алюминий Target

Титан-алюминиевые напыляемые мишени производят тонкие пленки, идеально подходящие для износостойких покрытий в автомобильной и аэрокосмической промышленности. Эти цели обеспечивают высокую скорость осаждения, улучшенную адгезию и низкие затраты на распыление по сравнению с другими материалами.

Медная цель

Медь является отличным проводником тепла и электричества, что делает ее идеальной для создания проводящих тонких пленок. Медные мишени для распыления широко используются в полупроводниковой и электронной промышленности для медных межсоединений.

Вольфрам Целевая

Вольфрам имеет высокую температуру плавления и отличную стабильность при высоких температурах, что делает его идеальным для использования в суровых условиях. Вольфрам напыления мишеней обычно используются в производстве тонких пленок для оптоэлектроники и солнечных элементов.

Каждый из металлов, обычно используемых в мишенях для распыления, обладает уникальными свойствами, которые делают их пригодными для различных применений. Молибден, титан, вольфрам и медь имеют преимущества, которые могут быть адаптированы к конкретным потребностям конкретного производственного процесса. Выбирая правильный материал мишени для распыления, производители могут повысить эффективность, снизить затраты и производить более качественные тонкие пленки.