Принцип работы обрабатываемых целей распыления керамики и производственных процессов

В качестве ключевого материала в современной промышленности, распыления мишени широко используется в различных высокотехнологичных областях. Основная функция распыления мишени заключается в переносе атомов мишени на поверхность подложки через процесс распыления с образованием тонкой пленки. Эта тонкая пленка играет незаменимую роль в производстве полупроводников, оптических покрытии, солнечных элементах, декоративном покрытии и других областях. С непрерывным прогрессом науки и техники требования к производительности для распыления мишеней становятся все выше и выше, и традиционные цели для распыления металла больше не могут удовлетворить спрос в некоторых приложениях. В это время, machinable керамика распыляя цель пришла в существование.

Принцип работы обрабатываемой керамики распыления мишени

Принцип работы обрабатываемойКерамические мишени для распыленияОснован на процессе распыления, который представляет собой технологию физического осаждения из паровой фазы (PVD). Процесс распыления начинается в вакуумной камере, где плазма образуется между мишенью и подложкой путем приложения высокого напряжения. Энергетические ионы в плазме ускоряются электрическим полем и ударяются о поверхность мишени, в результате чего атомы или молекулы выбиваются из мишени. Эти выбитые атомы или молекулы мигрируют в вакуумной среде и в конечном итоге осаждаются на поверхности подложки, образуя однородную тонкую пленку.

В этом процессе происходят физические и химические реакции. Столкновение и передача энергии между энергичными ионами и мишенью является физической реакцией, и атомы мишени и молекулы газа в плазме будут химически реагировать с образованием новых соединений. Процесс распыления в комбинации этих двух реакций может образовываться на поверхности подложки с определенными физико-химическими свойствами пленки.

Процесс производства обрабатываемых керамики распыления целевой

Процесс изготовления состоит из многих этапов. Первый-это выбор сырья, керамический порошок высокой чистоты готовится химическим синтезом или физическими методами, чтобы гарантировать, что его чистота и распределение частиц по размерам соответствует требованиям. Как только сырье было выбрано, этап подготовки начинается с смешивания и измельчения порошков сырья для получения равномерного распределения частиц и соответствующего размера частиц. Обычно это делается с помощью шаровой мельницы или другого шлифовального оборудования для обеспечения однородности и технологичности порошка. Далее идет процесс формования, один из ключевых этапов. Общие методы формования включают прессование и литье под давлением. Прессование включает прессование керамического порошка под высоким давлением, чтобы сделать заготовку желаемой формы, в то время как литье под давлением включает смешивание керамического порошка со связующим и формирование его через литьевую форму. Оба метода имеют свои преимущества и недостатки, и выбор зависит от формы и требований к производительности продукта. Процесс спекания-это формованная заготовка, спеченная при высоких температурах, чтобы сделать ее плотной и получить желаемые механические и физические свойства. Контроль температуры и времени спекания имеет решающее значение и обычно осуществляется в высокотемпературной печи для обеспечения уплотнения и однородности керамического материала. Наконец, есть этап постобработки, который включает в себя механическую обработку и обработку поверхности. Механическая обработка-это прецизионная обработка спеченной керамической мишени для достижения желаемого размера и формы. Обработка поверхности, с другой стороны, заключается в полировке и нанесении покрытия на поверхность мишени для улучшения качества ее поверхности и удобства использования.