Молибденовые мишени используются в производстве тонких пленок в процессе магнетронного напыления. Этот процесс включает бомбардировку металлической мишени ионами высокой энергии, которые выбрасывают атомы с поверхности мишени. Эти выброшенные атомы затем осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку.
Принцип работы молибденовой мишени включает в себя создание вакуумной среды, в которой мишень помещается в камеру напротив подложки. Цель обычно изготавлима из молибдена, так как это тугоплавкий металл, который имеет отличную термическую и химическую стабильность.
Как только вакуум установлен, газ, такой как аргон, вводится в камеру и ионизируется магнетронным источником распыления. Ионизированный газ ускоряется к мишени из молибдена, что приводит к выбросу атомов с поверхности. Эти выброшенные атомы затем летят в сторону и осаждаются на подложке, образуя ультратонкую пленку.
Толщина и свойства тонкой пленки можно контролировать, регулируя параметры процесса, такие как мощность, давление и расход газа. Молибденовые мишени могут быть использованы для производства тонких пленок в различных приложениях, от полупроводников до солнечных батарей и медицинских устройств.
EN
jp 
ko 
fr 
de 
es 
it 
ru 
pt 
ar 
tr 
