Молибденовый патрон является компонентом, используемым в полупроводниковой промышленности, в которой он функционирует как держатель для кремниевой пластины или кристалла затравки во время процесса роста кристаллов. Семенной патрон необходим для создания высококачественных кристаллов без дефектов. Изготовленные из молибдена высокой чистоты, тугоплавкого металла, известного своей превосходной высокотемпературной прочностью и отличной теплопроводностью, эти компоненты могут выдерживать высокие температуры и агрессивные среды, связанные с ростом кристаллов.
Молибденовый патрон имеет важное значение в процессах роста кристаллов в производстве полупроводников. Принцип работы патрона семян молибдена довольно прост. Во-первых, кремниевая пластина или кристалл затравки прикреплены к поверхности патрона семени, который действует как держатель. Патрон для семян позволяет точно расположить пластинку в ориентации, которая имеет решающее значение для роста кристаллов. Затем семенной патрон удерживает пластин на месте во время процесса роста кристаллов при условии воздействия высоких температур и сил поверхностного натяжения. В процессе роста кристалл-семя служит ядром, а атомы присоединяются к его поверхности, образуя более крупный кристалл. Точная форма семенного патрона играет жизненно важную роль в равномерном росте кристалла и, следовательно, в производительности конечного полупроводникового продукта. По мере роста кристалла семенной патрон должен поддерживать точный контроль над ориентацией и положением пластины, обеспечивая производство высококачественных кристаллов без дефектов.
Молибден лодки могут быть использованы для испарения широкого спектра материалов из-за их высокой температуры плавления, теплопроводности, и низкий коэффициент теплового расширения. Металлы, полупроводники, керамические материалы и другие неметаллические материалы могут быть испарены с молибденовыми лодками.
Например, металлы, такие как золото, серебро, алюминий, медь и платина, обычно испаряются с молибденовыми лодками для осаждения тонкой пленки. Многие полупроводниковые материалы, включая кремний, германий, арсенид галлия и фосфид индия, а также керамические материалы, такие как глинозем и цирконий, также могут быть испарены с молибденовыми лодками.
Кроме того, молибденовые лодки идеально подходят для испарения неметаллических материалов, таких как оксиды, сульфиды и нитриды. Например, такие материалы, как оксид титана, оксид алюминия, оксид железа и сульфид цинка, могут быть испарены с молибденовыми лодками.
В целом, универсальность молибденовых лодок делает их полезными в испарении широкого спектра материалов для различных тонкопленочных осаждений приложений.