Медная мишень представляет собой высокочистый и высокопроводящий материал, используемый в различных приложениях, таких как производство полупроводников, производство солнечных элементов и исследовательские приложения, такие как рентгенофлуоресцентный анализ. Медные мишени доступны в различных формах и размерах и разработаны с высокой точностью в соответствии с отраслевыми стандартами. Медные мишени отличаются исключительной прочностью, отличной теплопроводностью и устойчивостью к коррозии и окислению, что делает их надежным материалом.
Медные мишени в основном используются в распылении и гальванике, где требуются медные пленки высокой чистоты. В процессе распыления пучок ионов высокой энергии попадает на поверхность медной мишени, заставляя ее выбрасывать атомы меди. Эти атомы затем осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку.
Процесс распыления основан на ионизации распыляемого газа, обычно аргона, который создает плазму, которая ускоряется к поверхности мишени. Плазма ионизирует газообразный аргон, создавая высокоэнергетические ионы, которые воздействуют на медную мишень, вызывая распыление. Распыляемый материал наносится на подложку, создавая однородную медную пленку высокой чистоты.
В процессе гальваники медная мишень используется в качестве анода, а подложка используется в качестве катода. Постоянный ток пропускается через раствор сульфата меди, чтобы осаждать медь на подложку. Во время этого процесса ионы меди растворяются от мишени, мигрируют на катод и осаждаются на подложку, образуя тонкую медную пленку.
В целом, эффективная работа процессов напыления и гальваники сильно зависит от чистоты и качества медного целевого материала.
Медные мишени классифицируются на основе производственного процесса, уровня чистоты, а также формы и размера конечного продукта. Основываясь на производственном процессе, медные мишени делятся на две категории-мишени для распыления и гальванические мишени. Целевые напыления изготавливаются с использованием высокотемпературных методов, в то время как гальванические мишени изготавливаются с помощью электрохимических процессов.
Уровень чистоты также играет важную роль в классификации медных мишеней, при этом медные мишени высокой чистоты обычно имеют уровни чистоты более 99,99%. В зависимости от требований к форме и размеру медные мишени можно разделить на различные формы, такие как пластины, диски, квадраты и прямоугольники, или нестандартные формы в соответствии с конкретными потребностями приложения.
Плотность | 8,92 г/км3 |
Цвет | Пурпурно красный |
Точка плавления | 1083,4 ℃ |
Точка кипения | 2567 ℃ |
Медная мишень подходит для различных методов распыления, таких как двухполюсное распыление, трехполюсное распыление, четырехполюсное распыление, радиочастотное распыление, ионно-лучевое распыление, магнетронное распыление и напыление мишеней. Он подходит для нанесения нескольких типов пленок, таких как отражающие, проводящие, полупроводниковые, декоративные, защитные и интегральные пленки, обычно используемые в приложениях, включая дисплеи.
По сравнению с другими целевыми материалами, медные мишени являются экономически эффективными, что делает их предпочтительным выбором, когда желаемые функции пленки могут быть достигнуты.